实习项目: Study and improvement of pellicle sample preparation for material characterization
主要任务: 作为一个仅有几十纳米厚的薄膜,pellicle不能方便地放入表征仪器。为了对其进行测量,需研究如何将pellicle薄膜粘贴至晶圆上,以便用于表征技术。
实习期间做了大量实验以研究薄膜在不同表面上的吸附程度,并使用真空仪器将薄膜吸附至材料表面,并对仪器进行小部分的改善。试验后使用Sensofar光学显微镜观察薄膜在各种材料上的吸附程度。同时也与导师及团队其他人员沟通实验进展。实习结束制作幻灯片及一篇50页英文报告。